Home
For authors
Submission status

Archive
Archive (English)
Current
      Volume 108
      Volume 107
      Volume 106
      Volume 105
      Volume 104
      Volume 103
      Volume 102
      Volume 101
      Volume 100
      Volume 99
      Volume 98
      Volume 97
      Volume 96
      Volume 95
      Volume 94
      Volume 93
Search
VOLUME 108 | ISSUE 7 | PAGE 522
Механический резонанс в кремниевом нанопроводе с высокой добротностью
Abstract
В работе экспериментально исследованы резонансные свойства наномеханических резонаторов на основе закрепленных с двух концов кремниевых нанопроводов, изготовленных из кремния на изоляторе и покрытых тонкой пленкой алюминия. С помощью магнитодвижущего метода определены резонансные частоты основной моды при температуре 20 мК для нанопроводов различных размеров. Измеренные значения резонансных частот согласуются с оценкам, сделанными на основе теории Эйлера-Бернулли. Измеренная внутренняя добротность резонатора длиной 5 мкм, 3.62•104, превосходит значения добротности аналогичных резонаторов, исследованных при более высоких температурах. Представленные структуры могут быть использованы в качестве датчиков массы с чувствительностью \sim 6 \cdot 10^{-20} \text{г}/\text{Гц}^{1/2}.