Home
For authors
Submission status

Archive
Archive (English)
Current
      Volume 110
      Volume 109
      Volume 108
      Volume 107
      Volume 106
      Volume 105
      Volume 104
      Volume 103
      Volume 102
      Volume 101
      Volume 100
      Volume 99
      Volume 98
      Volume 97
      Volume 96
      Volume 95
      Volume 94
      Volume 93
Search
VOLUME 94 | ISSUE 2 | PAGE 151
Дрейф адатомов на поверхности кремния (111) в условиях электромиграции
Е. Е. Родякина ^\ast, С. С. Косолобов ^{\ast,\diamond}, А. В. Латышев ^{\ast,\diamond}
^\ast Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова, Сибирское отд. РАН, 630090 Новосибирск, Россия
^\diamondНовосибирский государственный университет, 630090 Новосибирск, Россия

Abstract
Методами in situ сверхвысоковакуумной отражательной электронной микроскопии и ex situ атомно-силовой микроскопии показано существование дрейфа адатомов по поверхности, возникающего под действием электрического тока, нагревающего образец, в условиях сублимации, гомоэпитаксиального роста и квазиравновесия на поверхности кремния (111) при температурах выше 1050 °С. Установлено, что направление дрейфа адатомов не зависит от величины пересыщения на поверхности. При этом дрейф адатомов происходит в сторону нижележащих террас: при 1050°-1240 °С в условиях резистивного нагрева образца постоянным электрическим током - в направлении вверх по ступеням, а при 1250-1350 °С - в направлении вниз по ступеням. Наличие дрейфа адатомов свидетельствует о существовании у адатомов эффективного заряда, оценка величины которого при 1280 °С составила 0.07\pm0.01 от величины заряда электрона.


Download PS file (GZipped, 705.6K)  |  Download PDF file (338.4K)


Список работ, цитирующих данную статью, см. здесь.

List of articles citing this article can be found here.